[发明专利]有机电致发光器件的制作方法及制作的有机电致发光器件

说明书

技术领域

本发明涉及平面显示领域，尤其涉及一种有机电致发光器件的制作方法及制作的有机电致发光器件。

背景技术

平面显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示装置主要包括液晶显示器（Liquid Crystal Display，LCD）及有机电致发光器件（Organic Electroluminescence Device，OELD），也称为有机发光二极管（Organic Light Emitting Diode，OLED）。

现有的液晶显示器一般为背光型液晶显示器，其包括：壳体、设于壳体内的液晶显示面板及设于壳体内的背光模组（Backlight Module）。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，并在两玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转，从而将背光模组的光线折射出来产生画面。

请参阅图1，现有的液晶显示面板一般包括：薄膜晶体管（Thin Film Transistor，TFT）基板302，与薄膜晶体管基板302相对贴合设置的彩色滤光片（Color Filter，CF）基板304，以及设于薄膜晶体管基板302与彩色滤光片基板304之间的液晶层306，薄膜晶体管基板302驱动液晶层306内的液晶分子转动，以显示相应的画面。

有机电致发光器件具备自发光、高亮度、宽视角、高对比度、可挠曲、低能耗等特性，因此受到广泛的关注，并作为新一代的显示方式，已开始逐渐取代传统液晶显示装置，被广泛应用在手机屏幕、电脑显示器、全彩电视机等领域。有机电致发光器件与传统的液晶显示器不同，其无需背光源，直接在玻璃基板上设置非常薄的有机材料涂层，当有电流通过时，这些有机材料涂层就会发光。

现有的有机电致发光器件按驱动方式分类，包括：无源矩阵式有机发光二极管（Passive-matrix organic light emitting diode，PMOLED）与有源矩阵式有机发光二极管（Active-matrix organic light emitting diode，AMOLED），其中，请参阅图2，为现有的一种有源矩阵式有机发光二极管的剖面结构示意图，其包括：基板100、形成于基板100上的栅极101、形成于栅极101上的栅极绝缘层102、形成于栅极绝缘层102上的源/漏极103、形成于源/漏极103上的氧化物半导体层104、形成于氧化物半导体层104上的第一有机平坦化层105、形成于第一有机平坦化层105上的透明电极106及形成于第一有机平坦化层105与透明电极106上的第二有机平坦化层107，其中，所述透明电极106作为有机发光二极管的阳极，通过通道电性连接于所述源/漏极103上，在该透明电极106上蒸镀有机发光层（未图示）及阴极（未图示），并通过封装盖板（未图示）封装制得有源矩阵式有机发光二极管，其生产制程一般需要8～9道光罩，制程较为复杂，成本相对较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种有机电致发光器件的制作方法，其制程简单，能有效降低生产成本。

本发明的另一目的在于提供一种有机电致发光器件，其制程简单，厚度薄，生产成本较低。

为实现上述目的，本发明提供一种有机电致发光器件的制作方法，包括以下步骤：

步骤1、提供基板；

步骤2、在基板上形成第一金属层，并图案化该第一金属层，以形成第一电极；

步骤3、在第一电极与基板上形成栅极绝缘层；

步骤4、在栅极绝缘层上依次形成透明导电层与第二金属层，并图案化该第二金属层与透明导电层，以形成第二电极，该第二电极包括第二金属层及位于第二金属层下方的透明导电层；

步骤5、在第二电极与栅极绝缘层上形成氧化物半导体层，图案化该氧化物半导体层；

步骤6、在氧化物半导体层与第二电极上形成有机平坦化层，并图案化该有机平坦化层；

步骤7、以有机平坦化层作为掩膜，蚀刻第二电极的第二金属层，露出透明导电层，以形成透明电极。

还包括：

步骤8、在有机平坦化层上形成间隔层；

步骤9、在透明电极上蒸镀有机功能层与阴极；

步骤10、提供封装盖板，并进行封装。

所述步骤1包括：提供基板，进行清洗后，在基板上形成缓冲层。

所述步骤2中，所述第一金属层形成于所述缓冲层上。

所述第一金属层与第二金属层包含铝或钼中至少一种；所述透明导电层包含氧化铟锡或银中至少一种；所述基板与封装盖板均为玻璃基板。