[发明专利]有机电致发光器件的制作方法及制作的有机电致发光器件

权利要求书

1.一种有机电致发光器件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、提供基板（20）；

步骤2、在基板（20）上形成第一金属层，并图案化该第一金属层，以形成第一电极（21）；

步骤3、在第一电极（21）与基板（20）上形成栅极绝缘层（22）；

步骤4、在栅极绝缘层（22）上依次形成透明导电层（222）与第二金属层（224），并图案化该第二金属层（224）与透明导电层（222），以形成第二电极（23），该第二电极（23）包括第二金属层（224）及位于第二金属层（224）下方的透明导电层（222）；

步骤5、在第二电极（23）与栅极绝缘层（22）上形成氧化物半导体层（24），图案化该氧化物半导体层（24）；

步骤6、在氧化物半导体层（24）与第二电极（23）上形成有机平坦化层（25），并图案化该有机平坦化层（25）；

步骤7、以有机平坦化层（25）作为掩膜，蚀刻第二电极（23）的第二金属层（224），露出透明导电层（222），以形成透明电极（26）。

2.如权利要求1所述的有机电致发光器件的制作方法，其特征在于，还包括：

步骤8、在有机平坦化层（25）上形成间隔层；

步骤9、在透明电极（26）上蒸镀有机功能层与阴极；

步骤10、提供封装盖板，并进行封装。

3.如权利要求1所述的有机电致发光器件的制作方法，其特征在于，所述步骤1包括：提供基板（20），进行清洗后，在基板（20）上形成缓冲层。

4.如权利要求3所述的有机电致发光器件的制作方法，其特征在于，所述步骤2中，所述第一金属层形成于所述缓冲层上。

5.如权利要求2所述的有机电致发光器件的制作方法，其特征在于，所述第一金属层与第二金属层（224）包含铝或钼中至少一种；所述透明导电层（222）包含氧化铟锡或银中至少一种；所述基板（20）与封装盖板均为玻璃基板。

6.如权利要求2所述的有机电致发光器件的制作方法，其特征在于，所述有机功能层包括形成于透明电极（26）上的空穴传输层、形成于空穴传输层上的有机发光层、及形成于有机发光层上的电子传输层。

7.一种有机电致发光器件，其特征在于，包括：基板（20）、形成于基板（20）上的第一电极（21）、形成于第一电极（21）与基板（20）上的栅极绝缘层（22）、形成于栅极绝缘层（22）上的第二电极（23）、形成于第二电极（23）与栅极绝缘层（22）上的氧化物半导体层（24）、形成于氧化物半导体层（24）与第二电极（23）上的有机平坦化层（25）及位于栅极绝缘层（22）上的透明电极（26），所述第二电极（23）包括第二金属层（224）及位于第二金属层（224）下方的透明导电层（222），所述透明电极（26）由透明导电层（222）形成。

8.如权利要求7所述的有机电致发光器件，其特征在于，还包括形成于基板（20）与第一电极（21）之间的缓冲层、形成于有机平坦化层（25）上的间隔层、形成于透明电极（26）上的有机功能层、形成于有机功能层上的阴极及与基板（20）贴合设置的封装盖板。

9.如权利要求8所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述有机功能层包括形成于透明电极（26）上的空穴传输层、形成于空穴传输层上的有机发光层、及形成于有机发光层上的电子传输层。

10.如权利要求8所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述第一电极（21）与第二金属层（224）包含铝或钼中至少一种；所述透明电极（26）包含氧化铟锡或银中至少一种；所述基板（20）与封装盖板均为玻璃基板。