[发明专利]一种振动能量采集器及其形成方法有效
| 申请号： | 201310552855.0 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN104638975A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 李志刚;欧毅;欧文;陈大鹏;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;吉海莲 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种振动能量采集器，包括框架、支撑梁、质量块、导体层和压电薄膜；其中：质量块，形成在支撑梁间且与支撑梁为一体结构；支撑梁，形成在框架内且两端悬挂固定于框架上；导体层，形成在质量块、支撑梁以及框架上且相互连通；压电薄膜，形成于支撑梁和质量块的导体层上。本发明的器件在振动中支撑梁发生弯曲变形，弯曲变形是与振幅相关的非线性形变，由于压电薄膜同支撑梁和质量块一同发生非线性形变，使得在较宽的振动频率范围内，器件都可以输出电信号，有效提高了振动能量采集器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振动 能量 采集 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种振动能量采集器，包括框架、支撑梁、质量块、导体层和压电薄膜；其中：质量块，形成在支撑梁间且与支撑梁为一体结构；支撑梁，形成在框架内且两端悬挂固定于框架上；导体层，形成在质量块、支撑梁以及框架上且相互连通；压电薄膜，形成于支撑梁和质量块的导体层上。
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