[发明专利]一种振动能量采集器及其形成方法

权利要求书

1.一种振动能量采集器，包括框架、支撑梁、质量块、导体层和压电薄膜；其中：

质量块，形成在支撑梁间且与支撑梁为一体结构；

支撑梁，形成在框架内且两端悬挂固定于框架上；

导体层，形成在质量块、支撑梁以及框架上且相互连通；

压电薄膜，形成于支撑梁和质量块的导体层上。

2.根据权利要求1所述的振动能量采集器，其特征在于，所述压电薄膜为PVDF压电薄膜。

3.根据权利要求1所述的振动能量采集器，其特征在于，所述框架为矩形框架，所述支撑梁的两端分别固定在框架的两个平行边上且与另两个平行边平行间隔。

4.根据权利要求3所述的振动能量采集器，其特征在于，所述框架、支撑梁以及质量块的上表面齐平，质量块的下表面凸出支撑梁的下表面。

5.一种振动能量采集器的形成方法，其特征在于，包括步骤：

提供衬底，所述衬底有第一表面和第二表面；

在第一表面上形成图案化的介质层和其上的导体层，介质层和导体层包括框架部分、一体的支撑梁部分和质量块部分，其中，质量块部分位于支撑梁部分之间，支撑梁部分位于框架部分内，支撑梁部分的两端分别与框架部分中的两个边相连；

在第二表面上形成与质量块部分和框架部分相对应的掩膜层，从第二表面进行刻蚀，以形成质量块和框架；

在导体层上形成压电薄膜；

去除支撑梁和质量块一体部分与框架部分之间衬底，以释放支撑梁和质量块。

6.根据权利要求5所述的形成方法，其特征在于，所述压电薄膜为PVDF压电薄膜。

7.根据权利要求5所述的形成方法，其特征在于，形成所述介质层和其上的导体层的步骤为：在第一表面上淀积介质材料；利用金属剥离工艺在介质材料上形成图案化的金属导体层；刻蚀介质材料，以形成图案化的介质层。

8.根据权利要求5所述的形成方法，其特征在于，形成质量块的步骤具体为：在第二表面上形成与质量块部分和框架部分相对应的掩膜层，并在第一表面上设置保护层，而后利用湿法腐蚀，以形成质量块；去除保护层。

9.根据权利要求5所述的形成方法，其特征在于，释放支撑梁和质量块的步骤具体为：

利用湿法腐蚀去除支撑梁和质量块一体部分与框架部分之间衬底，以释放支撑梁和质量块；或者

以导体层为掩膜，从第一表面进行刻蚀去除支撑梁和质量块一体部分与框架部分之间衬底，以释放支撑梁和质量块。

10.根据权利要求5-9中任一项所述的形成方法，其特征在于，所述框架为矩形框架，所述支撑梁的两端分别固定在框架的两个平行边上且与另两个平行边平行间隔。