[发明专利]基板上的图案形成方法有效
| 申请号： | 201310534349.9 | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103605264A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郭怡辰;高一弘;刘志豪;古吉洋;陈峰毅;陈安正;周诗博 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 史新宏 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板上的图案形成方法，包括：将多片基板贴附于承载板上，且基板彼此分离。撷取贴附有基板的承载板的参考影像。对参考影像进行影像处理以获得基板的处理信息。使用激光记忆曝光机根据基板的处理信息对基板进行曝光步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 基板上 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种基板上的图案形成方法，包括：将多片基板贴附于一承载板上，且这些基板彼此分离；撷取贴附有这些基板的该承载板的一参考影像；对该参考影像进行影像处理以获得各该基板的一处理信息；以及使用一激光记忆曝光机根据这些基板的这些处理信息对这些基板进行一曝光步骤。
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