[发明专利]半导体激光泵浦的绿光高功率输出的固体激光谐振腔模块在审
| 申请号： | 201310532455.3 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104600551A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 成序三;张文照 | 申请（专利权）人： | 上海熙隆光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/08 | 分类号： | H01S3/08;H01S3/13;H01S3/0941 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐洁晶 |
| 地址： | 201109 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体激光泵浦的绿光高功率输出的固体激光谐振腔模块及其制造方法，该模块包括有激光晶体、第一晶体固定底板和第一热沉的激光晶体子模块及有倍频晶体、第二晶体固定底板和第二热沉的倍频晶体子模块。激光晶体和倍频晶体各自在其外侧端面镀有光学介质膜并在其底部镀有金膜；藉由金膜将两个晶体由第一焊料分别焊接到第一、第二晶体固定底板上；第一、第二晶体固定底板事先通过第二焊料分别与第一、第二热沉焊接；两个子模块由激光熔接工艺固定在一起，熔接的焊点位于第一、第二晶体固定底板之间的内侧端面上。本发明在高功率激光工作状态下可导热、可温控且谐振腔结构高度稳定，实现了高速、高效且保证质量的封装，提升长期可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 激光 绿光高 功率 输出 固体 谐振腔 模块 | ||
【主权项】：
一种半导体激光泵浦的绿光高功率输出的固体激光谐振腔模块，其特征在于，包括激光晶体子模块和倍频晶体子模块；所述激光晶体子模块包括激光晶体（110）、第一晶体固定底板（114）和第一热沉（116）；所述倍频晶体子模块包括非线性光学倍频晶体（120）、第二晶体固定底板（124）和第二热沉（126）；其中，所述激光晶体（110）和所述倍频晶体（120）各自在其外侧端面镀有激光发生谐振所需的光学介质膜（111）并在其底部镀有金膜（112）；藉由所述金膜（112）将所述激光晶体（110）和所述倍频晶体（120）通过第一焊料（113）分别焊接到所述第一晶体固定底板（114）和所述第二晶体固定底板（124）上；所述第一晶体固定底板（114）和所述第二晶体固定底板（124）事先通过第二焊料（115）分别与散热用的所述第一热沉（116）和所述第二热沉（126）相焊接；所述激光晶体子模块和所述倍频晶体子模块通过激光熔接工艺固定在一起，熔接的焊点（130）位于所述第一晶体固定底板（114）和所述第二晶体固定底板（124）之间的内侧端面上。
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