[发明专利]清洁系统和衬底处理工具有效
| 申请号： | 201310495327.6 | 申请日： | 2008-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN103543614A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | A·J·布里克;A·L·H·J·范米尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种清洁系统和衬底处理工具，所述清洁系统包括清洁单元，所述清洁单元被构造和布置以在衬底保持件的支撑表面上产生基团，以从其上移除污染物，其中，所述清洁系统处在氢气气体环境中，其中所述清洁单元包括：外壳，所述外壳包括与真空单元相连通的出口和多个开口，所述多个开口使得气体在所述氢气气体环境和所述外壳的内部之间连通，和等离子体产生器，所述等离子产生器被布置在所述外壳的内部且被配置以产生用于产生所述基团的氢等离子体，所述氢气气体环境被配置以用作所述等离子体产生器的氢供给。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 系统 衬底 处理 工具 | ||
【主权项】：
一种清洁系统，所述清洁系统包括清洁单元，所述清洁单元被构造和布置以在衬底保持件的支撑表面上产生基团，以从其上移除污染物，其中，所述清洁系统处在氢气气体环境中，其中所述清洁单元包括：外壳，所述外壳包括与真空单元相连通的出口和多个开口，所述多个开口使得气体在所述氢气气体环境和所述外壳的内部之间连通，和等离子体产生器，所述等离子产生器被布置在所述外壳的内部且被配置以产生用于产生所述基团的氢等离子体，所述氢气气体环境被配置以用作所述等离子体产生器的氢供给。
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