[发明专利]一种高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法无效
| 申请号： | 201310476304.0 | 申请日： | 2013-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN103510061A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 吴舢红;李伟;薛增辉 | 申请（专利权）人： | 萨姆森涂层纳米科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法，包括如下制备步骤：（1）基体清洗，然后进行离子清洗；（2）TiSiN层制备：将步骤（1）处理后的基体送到溅射室进行沉积，Ti-Si复合靶材由射频阴极控制，沉积1-2μm的TiSiN涂层。本发明所得TiSiN涂层不但具有高硬度34.4GPa，而且具有优良的抗高温氧化性和耐腐蚀能力，工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等特点，并且具有生产效率高、能耗低，对设备要求较低等优点，可作为高速、干式切削的刀具涂层和其他领域的保护涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硬度 弹性模量 tisin 保护 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法，其特征在于包括如下制备步骤：（1）基体清洗将经打磨镜面抛光处理后的基体在无水乙醇和丙酮中利用超声波清洗5～10min；然后进行离子清洗：将样品装好后装进进样室，抽真空后开Ar气，维持真空度在2‑4Pa，用中频对所述基体进行30min的离子轰击，功率为80‑100W；（2）TiSiN层制备将步骤（1）处理后的基体送到溅射室进行沉积，Ti‑Si复合靶材由射频阴极控制，真空室的本底真空度优于5×10‑3Pa，溅射气氛采用Ar和N2的混合气体，溅射功率为280‑400W，溅射时间为90‑140min，靶基距：5cm，沉积1‑2μm的TiSiN涂层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于萨姆森涂层纳米科技（上海）有限公司，未经萨姆森涂层纳米科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310476304.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
