[发明专利]一种高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法无效
| 申请号： | 201310476304.0 | 申请日： | 2013-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN103510061A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 吴舢红;李伟;薛增辉 | 申请（专利权）人： | 萨姆森涂层纳米科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硬度 弹性模量 tisin 保护 涂层 制备 方法 | ||
1.一种高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法，其特征在于包括如下制备步骤：
（1）基体清洗
将经打磨镜面抛光处理后的基体在无水乙醇和丙酮中利用超声波清洗5～10min；
然后进行离子清洗：将样品装好后装进进样室，抽真空后开Ar气，维持真空度在2-4Pa，用中频对所述基体进行30min的离子轰击，功率为80-100W；（2）TiSiN层制备
将步骤（1）处理后的基体送到溅射室进行沉积，Ti-Si复合靶材由射频阴极控制，真空室的本底真空度优于5×10-3Pa，溅射气氛采用Ar和N2的混合气体，溅射功率为280-400W，溅射时间为90-140min，靶基距：5cm，沉积1-2μm的TiSiN涂层。
2.如权利要求1所述的具有高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法，其特征在于所述涂层是纳米复合结构，涂层呈现NaCl结构的TiN相；所述基体为金属、硬质合金、陶瓷或塑料。
3.如权利要求1所述的具有高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法，其特征在于Ar/N2流量比范围为3-12。
4.如权利要求1所述的具有高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中超声波的频率为15～30kHz，中频为13.56Hz，所述步骤（2）中的氩气流量为10-50sccm，氮气流量为2-10sccm。
5.如权利要求1所述的具有高硬度、高弹性模量TiSiN保护涂层的制备方法，其特征在于基体的温度范围25-400℃。
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