[发明专利]薄膜剥离装置有效
| 申请号： | 201310439861.5 | 申请日： | 2013-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN103787130B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 武末功;筱塚诚;冈本宣幸 | 申请（专利权）人： | 日立成套设备机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B65H41/00 | 分类号： | B65H41/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜剥离装置，即使是干阻焊膜（DFSR）等容易破断的薄膜，也能够通过防止剥离薄膜时的薄膜的破断，防止在基板上残留薄膜的破断片。薄膜剥离装置具备搬运基板（2）的基板搬运组件（1）、将在由该基板搬运组件（1）搬运来的基板（2）上粘贴的薄膜（2b）剥离的剥离组件（30），剥离组件（30）具备粘着片材的送出及卷取机构（40、50）；将从该粘着片材的送出、卷取机构（40、50）送出的粘着片材（60）在遍及薄膜（2b）的整个面粘贴的粘贴机构（32）；将贴着于粘着片材（60）的薄膜（2b）与粘着片材（60）一起从基板（2）剥离的剥离机构（32）。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 剥离 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜剥离装置，其具备：用于搬运基板的基板搬运组件；将在利用该基板搬运组件搬运来的基板上粘贴的薄膜剥离的剥离组件；和检测基板到达剥离组件的位置的光学式传感器，其特征在于，所述剥离组件具备：粘着片材的送出、卷取机构；将从该粘着片材的送出、卷取机构送出的粘着片材在遍及薄膜的整个面粘贴的粘贴机构；将贴着于粘着片材的薄膜与粘着片材一起从基板剥离的剥离机构；和用于使该粘贴机构及剥离机构朝向基板伸长的驱动机构，在由所述光学式传感器检测到基板到达剥离组件的位置时停止所述基板的搬运，由驱动机构使粘贴机构及剥离机构朝向基板伸长，将从粘着片材的送出、卷取机构送出的粘着片材按压在基板上，然后一边在基板搬运方向搬运基板一边从粘着片材的送出、卷取机构输送粘着片材，由此将粘着在粘着片材上的薄膜与粘着片材一起从基板剥离。
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