[发明专利]薄膜剥离装置有效
| 申请号： | 201310439861.5 | 申请日： | 2013-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN103787130B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 武末功;筱塚诚;冈本宣幸 | 申请（专利权）人： | 日立成套设备机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B65H41/00 | 分类号： | B65H41/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 剥离 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜剥离装置，其具备：用于搬运基板的基板搬运组件；将在利用该基板搬运组件搬运来的基板上粘贴的薄膜剥离的剥离组件，其特征在于，所述剥离组件具备：粘着片材的送出及卷取机构；将从该粘着片材的送出、卷取机构送出的粘着片材在遍及薄膜的整个面粘贴的粘贴机构；将贴着于粘着片材的薄膜与粘着片材一起从基板剥离的剥离机构。
2.根据权利要求1所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
粘贴机构和剥离机构由一个部件构成。
3.根据权利要求2所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
粘贴机构和剥离机构由一个辊形状部件构成。
4.根据权利要求1、2或3所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
在粘着片材的送出机构附设分离片的卷取机构。
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