[发明专利]一种测量等离子体室放出的电子量的方法无效
| 申请号： | 201310415359.0 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104465285A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 丁振理 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种测量等离子体室放出的电子量的方法，其图1工作流程框图包括：PFG电子发生器(1)、PFG EMISSION CURRENT电子测量装置(2)、PSI控制器(3)、灯丝电压(4)、弧压(5)。此方法检测PFG电子发生器溢出的电子量情况。PFG EMISSION CURRENT原理图图2说明了测量装置原理。其中包括采样电阻、放大器AD8221、同相放大器、电压跟随器电路组成。说明书对本方法进行了详细的说明，并给出具体实施方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 等离子体 放出 电子 方法 | ||
【主权项】：
一种测量等离子体室放出的电子量的方法，其图1工作流程框图包括：PFG电子发生器(1)、PFG EMISSION CURRENT电子测量装置(2)、PSI控制器(3)、灯丝电压(4)、弧压(5)。PFG EMISSION CURRENT原理图图2说明了测量装置原理。其中包括采样电阻、放大器AD8221、同相放大器、电压跟随器电路组成。此方法检测PFG电子发生器溢出的电子情况。
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