[发明专利]一种测量等离子体室放出的电子量的方法

权利要求书

1.一种测量等离子体室放出的电子量的方法，其图1工作流程框图包括：PFG电子发生器(1)、PFG EMISSION CURRENT电子测量装置(2)、PSI控制器(3)、灯丝电压(4)、弧压(5)。PFG EMISSION CURRENT原理图图2说明了测量装置原理。其中包括采样电阻、放大器AD8221、同相放大器、电压跟随器电路组成。此方法检测PFG电子发生器溢出的电子情况。

2.如权利要求1所述一种测量等离子体室放出的电子量的方法，其特征在于，其中所述的采样电阻的大小，控制输出的值的取值量程公式U＝I*R*K；R＝U/I*K(此电路的放大倍数K＝50，采样电流为I＝10mA，对应的AIN5为U＝10V)。为了使电路采样信号稳定放大，整个电路中用放大器AD8221和同相放大器，从而达到电路满足电气需要，通过电压跟随器，从而达到滤去电路内部干扰波的目的。

3.如权利要求1所述的一种测量等离子体室放出的电子量的方法，其特征在于，其中所述的PFG EMISSION CURRENT电子测量装置(2)采样量输入给PSI控制器(3)，进而输出数字量给上位机，上位机通过设定的算法计算出显示值，从而达到检测电子量的目的。进而达到提高产品质量的目的。