[发明专利]形成纳米晶的方法和制造有机发光显示装置的方法有效
| 申请号： | 201310395548.6 | 申请日： | 2013-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN103981483B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 许明洙;卢喆来;崔丞镐 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;H01L51/56;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;杨莘 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种形成纳米晶的方法和一种制造包括其中具有纳米晶的金属化合物薄膜的有机发光显示装置的方法。形成纳米晶的方法包括：在第一压力下通过使用反应溅射工序形成金属化合物薄膜；以及在低于第一压力的第二压力下通过使用反应溅射工序在金属化合物薄膜中形成纳米晶。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米晶 金属化合物薄膜 有机发光显示装置 反应溅射 制造 | ||
【主权项】：
1.一种形成纳米晶的方法，包括：在第一压力下通过执行反应溅射工序形成金属化合物薄膜；在低于所述第一压力的第二压力下通过执行所述反应溅射工序在所述金属化合物薄膜中形成所述纳米晶；其中所述金属化合物薄膜为非晶相。
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