[发明专利]一种用于转盘的定位装置、转盘机构及刻蚀设备有效
| 申请号： | 201310353744.7 | 申请日： | 2013-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN104370075B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 舒晓芬 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B65G43/02 | 分类号： | B65G43/02;G01D5/26;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于转盘的定位装置，包括感应片，设置在所述转盘外沿上并能够随所述转盘同步转动；第一定位传感器，用于检测所述感应片，所述第一定位传感器设置于所述感应片下方并能够随所述转盘的驱动装置同步转动；控制器，该控制器能够根据所述定位传感器检测所述感应片的检测结果判断所述转盘的位置是否异常。本发明还提供一种包括该定位装置的转盘机构，以及应用该转盘机构的刻蚀设备。本发明能够在转盘运行过程中监测转盘的位置是否异常，同时还可以对转盘的转动位置进行定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 转盘 定位 装置 机构 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
一种用于转盘的定位装置，其特征在于，该定位装置包括：感应片，设置在所述转盘外沿上并能够随所述转盘同步转动；第一定位传感器，用于检测所述感应片，所述第一定位传感器设置于所述感应片下方并能够随所述转盘的驱动装置同步转动；控制器，该控制器能够根据所述第一定位传感器检测所述感应片的检测结果判断所述转盘的位置是否异常。
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