[发明专利]一种用于转盘的定位装置、转盘机构及刻蚀设备

说明书

技术领域

本发明涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种转盘定位装置、转盘机构及刻蚀设备。

背景技术

在半导体工艺片制造领域，经常需要用到各类运动系统来实现晶片的装载和卸载，其中，利用转盘并配合机械手完成工艺片的装卸载是一种较为常用的方式。

现有的转盘定位装置及应用环境如图1所示，在图1中，传输腔室102中的机械手30将在预清理腔室103或脱气腔室104中完成相应处理的工艺片取出，放入工艺腔室101的转盘10上进行相应的工艺处理，并在完成工艺处理后，机械手30将工艺片从转盘10上取出，放入装载/卸载腔室105中。现有转盘的定位装置通过金属片40和传感器50来完成定位，使得转盘10转动到指定位置时停止转动，由机械手30完成对与其相对的工艺片20的装载或卸载。该现有的定位装置能够定位转盘的转动位置，但无法对转动过程中可能发生的异常情况进行监测，在异常情况下需停止机械手30的装载/卸载操作，否则可能导致进一步的不可预期的结果。

另一种现有的转盘定位装置如图2和图3所示，该现有的装置中，除设置金属片40外，还在转盘10上每个放置工艺片20的位置外沿设置了定位金属片41，当转盘在某一位置停止转动并准备由机械手30进行相应的装载或卸载操作时，若定位传感器60未检测到定位金属片41，则认为转盘10的转动位置异常。该现有的装置能够对转盘的位置是否异常进行监测，然而，该装置需在转盘上的每个放置工艺片的位置的外沿均设置定位金属片，且对安装的精度要求较高，同时对系统进行扩展时其扩展花费以及人工消耗也较高。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种用于转盘的定位装置、转盘机构及刻蚀设备，以能够在转盘运行过程中监测转盘的位置是否异常。

为实现上述目的，本发明提供一种用于转盘的定位装置，该定位装置包括：

感应片，设置在所述转盘外沿上并能够随所述转盘同步转动；

第一定位传感器，用于检测所述感应片，所述第一定位传感器设置于所述感应片下方并能够随所述转盘的驱动装置同步转动，用于检测所述感应片；

控制器，该控制器能够根据所述第一定位传感器检测所述感应片的检测结果判断所述转盘的位置是否异常。

优选地，所述控制器在所述转盘停止转动且所述第一定位传感器未检测到所述感应片时，判定所述转盘的位置异常。

优选地，所述第一定位传感器用于在预设的距离范围内检测所述感应片，所述控制器在所述转盘停止转动且所述第一定位传感器未在所述的预设范围内检测到所述感应片时，判定所述转盘的位置异常。

优选地，所述转盘的驱动装置包括所述转盘的转轴，所述定位传感器与所述转盘的转轴连接。

优选地，所述定位装置还包括支撑件，用于将所述第一定位传感器固定于所述转盘的转轴上。

优选地，所述定位装置还包括第二定位传感器，所述第二定位传感器固定设置在转盘外部，用于检测所述感应片，所述控制器还用于根据所述第二定位传感器的检测结果对所述转盘定位。

优选地，所述控制器在所述第二定位传感器检测到所述感应片时，判定所述转盘位于原点位置，且所述控制器在所述转盘从所述原点位置开始转动时，记录所述转盘在下一次转动至所述原点位置前所转过的角度。

优选地，其特征在于，所述感应片为金属片，所述第一定位传感器为光电传感器。

相应地，本发明还提供一种转盘机构，包括转盘、转轴和电机，其特征在于，该转盘机构上述本发明所提供的用于转盘的定位装置。

相应地，本发明还提供一种刻蚀设备，该刻蚀设备包括刻蚀腔室和上述本发明所提供的转盘机构。

可见，本发明通过设定在转盘外沿的感应片，结合第一定位传感器和控制器，能够监测转盘的位置是否异常，并且还可以结合第二定位传感器对转盘进行定位。此外，本发明只需在转盘外沿设置一个感应片即可实现上述效果，节省了安装成本以及后期扩展中可能存在的花费和人工消耗。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为现有的转盘定位装置及转盘机构应用环境示意图；

图2为另一现有的转盘定位装置的俯视图；

图3为另一现有的转盘定位装置的侧视图；

图4为本发明实施例所提供的用于转盘的定位装置结构示例图；

图5为本发明实施例所提供的定位装置在转盘发生倾斜故障时的示例图。