[发明专利]一种用于转盘的定位装置、转盘机构及刻蚀设备

权利要求书

1.一种用于转盘的定位装置，其特征在于，该定位装置包括：

感应片，设置在所述转盘外沿上并能够随所述转盘同步转动；

第一定位传感器，用于检测所述感应片，所述第一定位传感器设置于所述感应片下方并能够随所述转盘的驱动装置同步转动；

控制器，该控制器能够根据所述第一定位传感器检测所述感应片的检测结果判断所述转盘的位置是否异常。

2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述控制器在所述转盘停止转动且所述第一定位传感器未检测到所述感应片时，判定所述转盘的位置异常。

3.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述第一定位传感器用于在预设的距离范围内检测所述感应片，所述控制器在所述转盘停止转动且所述第一定位传感器未在所述的预设范围内检测到所述感应片时，判定所述转盘的位置异常。

4.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述转盘的驱动装置包括所述转盘的转轴，所述定位传感器与所述转盘的转轴连接。

5.根据权利要求4所述的定位装置，其特征在于，所述定位装置还包括支撑件，用于将所述第一定位传感器固定于所述转盘的转轴上。

6.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述定位装置还包括第二定位传感器，所述第二定位传感器固定设置在转盘外部，用于检测所述感应片，所述控制器还用于根据所述第二定位传感器的检测结果对所述转盘定位。

7.根据权利要求6所述的定位装置，其特征在于，所述控制器在所述第二定位传感器检测到所述感应片时，判定所述转盘位于原点位置，且所述控制器在所述转盘从所述原点位置开始转动时，记录所述转盘在下一次转动至所述原点位置前所转过的角度。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的定位装置，其特征在于，所述感应片为金属片，所述第一定位传感器为光电传感器。

9.一种转盘机构，包括转盘、转轴和电机，其特征在于，该转盘机构还包括权利要求1至8中任意一项所述的用于转盘的定位装置。

10.一种刻蚀设备，其特征在于，该刻蚀设备包括刻蚀腔室和权利要求9所述的转盘机构。