[发明专利]一种显影槽无效
| 申请号： | 201310345450.X | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103472692A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 常平;张小光;窦友江 | 申请（专利权）人： | 句容骏成电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 王云 |
| 地址： | 212400 江苏省镇江市句容*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影槽，包括沿显影槽内周边设置的铁氟龙软管，铁氟龙软管的两头部均伸出显影槽，一头为进水口，另一头为出水口。本发明显影槽可控制其内部的温度在规定范围内变动，避免了因显影液温度过高造成的停机浪费；装置改进前每日需停机4-5次，每次停机20min；装置改进后每日需停机0次，大大的提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 | ||
【主权项】：
一种显影槽，其特征在于：包括沿显影槽（4）内周边设置的铁氟龙软管（1），铁氟龙软管（1）的两头部均伸出显影槽（4），一头为进水口（2），另一头为出水口（3）。
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