[发明专利]一种显影槽无效
申请号: | 201310345450.X | 申请日: | 2013-08-09 |
公开(公告)号: | CN103472692A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 常平;张小光;窦友江 | 申请(专利权)人: | 句容骏成电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 王云 |
地址: | 212400 江苏省镇江市句容*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显影 | ||
技术领域
本发明涉及一种显影槽,属于信息显示屏技术领域。
背景技术
现有技术中,在玻璃的ITO层上涂上一层光刻胶后,用紫外光通过预先制作好的电极图形掩膜,照射光刻胶表面,使被照部分的光刻胶层发生反应。然后用显影液处理玻璃表面,将经过光照分解的光刻胶层(正性胶)除去,保留未曝光部分的光刻胶层。显影液的主要成分是KOH,呈弱碱性。当显影液问题升高时,显影液会对去除光刻胶部分的玻璃ITO造成腐蚀,从而造成缺划不良。为避免造成缺划,当温度超高时,需停机等KOH达到设定温度时方可生产,浪费生产效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种显影槽,有效解决了因显影液温度过高而导致的经常性停机问题。
为解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案为:
一种显影槽,包括沿显影槽内周边设置的铁氟龙软管,铁氟龙软管的两头部均伸出显影槽,一头为进水口,另一头为出水口。
使用时,可将铁氟龙软管内通入冷却水。
所述的铁氟龙软管沿显影槽内周边呈螺旋状设置,起到了更好的冷却效果。
所述的铁氟龙软管的长度为2.5-3m,保证了冷却效果的同时,不影响产品的质量。
优选,所述的铁氟龙软管的长度为2.8m。
所述的铁氟龙软管的直径为10-15mm,进一步保证了冷却效果的同时,并不影响产品的质量。优选,所述的铁氟龙软管的直径为13mm。
所述的铁氟龙软管更优选设在显影槽内高度方向上从下到上的二分之一到三分之二处。
上述显影槽的应用,显影槽的使用压力为0.3MP。
本发明未特别说明的技术均为现有技术。
本发明显影槽可控制其内部的温度在规定范围内变动,避免了因显影液温度过高造成的停机浪费;装置改进前每日需停机4-5次,每次停机20min;装置改进后每日需停机0次,大大的提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明显影槽结构示意图;
图中,1为铁氟龙软管,2为进水口,3为出水口,4为显影槽。
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