[发明专利]一种显影槽无效
| 申请号： | 201310345450.X | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103472692A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 常平;张小光;窦友江 | 申请（专利权）人： | 句容骏成电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 王云 |
| 地址： | 212400 江苏省镇江市句容*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 显影 | ||
【权利要求书】：
1.一种显影槽，其特征在于：包括沿显影槽（4）内周边设置的铁氟龙软管（1），铁氟龙软管（1）的两头部均伸出显影槽（4），一头为进水口（2），另一头为出水口（3）。
2.如权利要求1所述的显影槽（4），其特征在于：所述的铁氟龙软管（1）沿显影槽（4）内周边呈螺旋状设置。
3.如权利要求1或2所述的显影槽（4），其特征在于：所述的铁氟龙软管（1）的长度为2.5-3m。
4.如权利要求1或2所述的显影槽（4），其特征在于：所述的铁氟龙软管（1）的长度为2.8m。
5.如权利要求1或2所述的显影槽（4），其特征在于：所述的铁氟龙软管（1）的直径为10-15mm。
6.如权利要求1或2所述的显影槽（4），其特征在于：所述的铁氟龙软管（1）的直径为13mm。
7.如权利要求1或2所述的显影槽（4），其特征在于：所述的铁氟龙软管（1）设在显影槽（4）内高度方向上从下到上的二分之一到三分之二处。
8.权利要求1-7任意一项所述的显影槽（4）的应用，其特征在于：显影槽（4）的使用压力为0.3MP。
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