[发明专利]基板制造方法及基板制造装置有效
| 申请号： | 201310344687.6 | 申请日： | 2013-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN103801489A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 白石达朗;冈本裕司 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B05D1/02 | 分类号： | B05D1/02;B05C5/00;B05C11/10;B05C13/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板制造方法及基板制造装置。本发明的基板制造方法能够抑制因图像数据的校正处理而装置所占用的时间延长及成本增加的同时，考虑到基板的变形来形成薄膜。准备将定义在基板上应形成的薄膜的形状的光栅格式的图像数据压缩而成的压缩数据。测定基板的在面内方向上的变形量。根据所测定的变形量，对压缩数据以压缩格式状态实施像素的插入或去除处理来生成变形修正数据。根据所生成的变形修正数据在基板上形成薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基板制造方法，其中，具有：准备将定义应在基板上形成的薄膜的形状的光栅格式的图像数据压缩而成的压缩数据的工序；测定所述基板的在面内方向上的变形量的工序；根据所测定的所述变形量，通过对所述压缩数据以保持压缩格式的状态下实施像素的插入或去除处理来生成变形修正数据的工序；及根据所述变形修正数据在所述基板上形成薄膜的工序。
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