[发明专利]一种具有锁模功能的半导体激光器结构

摘要

一种具有锁模功能的半导体激光器结构，涉及半导体光电子学技术领域，解决了半导体激光器在工作时，由于本身自热效应以及散热不好等因素造成的温度升高，波长发生漂移，作为泵浦源使用时匹配效率降低的问题。具有锁模功能的半导体激光器结构，包括半导体激光器芯片，芯片一端的高反射膜系，以及另一端出光面的锁模膜系，该发明在不增加温度控制系统的条件下，使激光器能够自动锁模，激射波长稳定，且工艺容易实现，制备出的半导体激光器可大面积集成。

主权项

一种具有锁模功能的半导体激光器结构，其特征在于：由半导体激光器芯片（2），芯片一端的高反射膜（1），以及另一端出光面的滤波膜（3）组成，高反射膜（1）其膜系结构为sub|(LH)^9|air，滤波膜（3）其膜系结构为Sub|H(LH)^84L(HL)^8HL|air，光学膜系中的L为1/4的光学厚度的SiO2层，H为1/4的光学厚度的TiO2层。