[发明专利]一种具有锁模功能的半导体激光器结构无效
申请号: | 201310342959.9 | 申请日: | 2013-08-08 |
公开(公告)号: | CN103401137A | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 宁永强;张金胜;张金龙;张建;王立军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01S5/028 | 分类号: | H01S5/028;H01S5/065 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 功能 半导体激光器 结构 | ||
1.一种具有锁模功能的半导体激光器结构,其特征在于:由半导体激光器芯片(2),芯片一端的高反射膜(1),以及另一端出光面的滤波膜(3)组成,高反射膜(1)其膜系结构为sub|(LH)^9|air,滤波膜(3)其膜系结构为Sub|H(LH)^84L(HL)^8HL|air,光学膜系中的L为1/4的光学厚度的SiO2层,H为1/4的光学厚度的TiO2层。
2.根据权利要求1所述一种具有锁模功能的半导体激光器结构,其特征在于:在激光器芯片(2)的一端使用蒸镀技术制备高反膜(1),对中心波长±40nm的波段进行高反。
3.根据权利要求1所述一种具有锁模功能的半导体激光器结构,其特征在于:将激光器芯片(2)的另一端出光面同样使用蒸镀技术制备滤波膜(3),对中心波长±0.1nm的波段进行纵模选择,其在中心波长处的透过率为93%,半宽为0.2nm。
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