[发明专利]基板制造装置及基板制造方法

摘要

本发明提供一种基板制造装置及基板制造方法，该基板制造装置在面内形成膜厚不同的薄膜时，能够避免生产率下降。本发明的基板制造装置，在载物台的保持面保持应形成薄膜的基板。从与载物台对置的喷嘴头的多个喷嘴孔朝向载物台上保持的基板吐出薄膜材料的液滴。移动机构使载物台及喷嘴头的其中一方相对于另一方在与保持面平行的扫描方向上移动。控制装置控制移动机构。当从控制装置接收喷嘴孔和与该喷嘴孔建立对应关联的信号波形之间的对应关系被特定的吐出信号，则喷嘴头从喷嘴孔吐出和与该喷嘴孔建立对应关联的信号波形相应的体积的薄膜材料的液滴。

主权项

一种基板制造装置，其中，具有：载物台，在保持面保持应形成薄膜的基板；喷嘴头，与所述载物台对置，并从多个喷嘴孔朝向所述载物台上保持的基板吐出薄膜材料的液滴；移动机构，使所述载物台及所述喷嘴头的其中一方相对于另一方在与所述保持面平行的扫描方向上移动；及控制装置，控制所述移动机构，当所述喷嘴头从所述控制装置接收特别规定有所述喷嘴孔同与该喷嘴孔所对应的信号波形之间的对应关系的吐出信号时，从指定的所述喷嘴孔吐出同与该喷嘴孔所对应的信号波形相应的体积的薄膜材料的液滴。