[发明专利]基板制造装置及基板制造方法

权利要求书

1.一种基板制造装置，其中，具有：

载物台，在保持面保持应形成薄膜的基板；

喷嘴头，与所述载物台对置，并从多个喷嘴孔朝向所述载物台上保持的基板吐出薄膜材料的液滴；

移动机构，使所述载物台及所述喷嘴头的其中一方相对于另一方在与所述保持面平行的扫描方向上移动；及

控制装置，控制所述移动机构，

当所述喷嘴头从所述控制装置接收特别规定有所述喷嘴孔同与该喷嘴孔所对应的信号波形之间的对应关系的吐出信号时，从指定的所述喷嘴孔吐出同与该喷嘴孔所对应的信号波形相应的体积的薄膜材料的液滴。

2.根据权利要求1所述的基板制造装置，其中，

所述控制装置包括存储图像数据及体积波形对应表的存储部，所述图像数据包含与所述基板上应形成的薄膜的平面形状及厚度相关的信息，所述体积波形对应表定义从所述喷嘴孔吐出的薄膜材料的液滴的体积与信号波形之间的对应关系，

所述控制装置根据所述图像数据及所述体积波形对应表，向所述喷嘴头发送所述吐出信号。

3.根据权利要求1或2所述的基板制造装置，其中，

所述喷嘴头包含与各所述喷嘴孔对应配置的加压室及改变所述加压室的容积的驱动器，通过驱动所述驱动器来改变所述加压室的容积，由此从所述喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴，所述信号波形与所述加压室的容积的时间变化对应。

4.一种基板制造方法，其中，具有：

使喷嘴头与基板对置，使所述基板与所述喷嘴头的其中一方相对于另一方在与所述基板的表面平行的扫描方向上移动，并且从所述喷嘴头的喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴，从而在所述基板的表面形成薄膜的工序，

在使所述基板和所述喷嘴头的其中一方相对于另一方在所述扫描方向上移动的期间，根据与使所述薄膜材料的液滴着落的位置上的所述薄膜的厚度相关的信息，使从所述喷嘴孔吐出的薄膜材料的体积按每一个所述喷嘴孔而不同。

5.根据权利要求4所述的基板制造方法，其中，

所述喷嘴头接收指定有所述喷嘴孔同与该喷嘴孔对应的信号波形的吐出信号，从而从被指定的所述喷嘴孔吐出与被指定的信号波形相应的体积的薄膜材料的液滴。