[发明专利]静电消除装置、卡匣承载设备、物料搬运系统及搬运方法有效
| 申请号： | 201310320905.2 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103400788A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 陈增宏;林昆贤;汪永强;杨卫兵;齐明虎;李晨阳子;杨国坤;蒋运芍;舒志优 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H05F3/00 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种静电消除装置，用于消除玻璃基板上的静电。该静电消除装置包括呈框体结构的导轨、静电消除器及驱动装置。该导轨设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件的一条侧边的外表面上。该静电消除器能够滑动地装设在该导轨内。该驱动装置固定在该导轨上并用于驱动该静电消除器沿着该导轨来回移动。另，本发明还提供一种装配有该静电消除装置的卡匣承载设备以及使用该卡匣承载设备的物料搬运系统及搬运方法。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 消除 装置 承载 设备 物料 搬运 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种静电消除装置，用于消除玻璃基板上的静电，其特征在于，该静电消除装置(20)包括：呈框体结构的导轨(22)，该导轨(22)设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件(10)的一条侧边的外表面上；静电消除器(26)，该静电消除器(26)能够滑动地装设在该导轨(22)内；及驱动装置(28)，该驱动装置(28)固定在该导轨(22)上并用于驱动该静电消除器(26)沿着该导轨(22)来回移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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