[发明专利]静电消除装置、卡匣承载设备、物料搬运系统及搬运方法有效

专利信息
申请号: 201310320905.2 申请日: 2013-07-26
公开(公告)号: CN103400788A 公开(公告)日: 2013-11-20
发明(设计)人: 陈增宏;林昆贤;汪永强;杨卫兵;齐明虎;李晨阳子;杨国坤;蒋运芍;舒志优 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H05F3/00
代理公司: 广东广和律师事务所 44298 代理人: 刘敏
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 静电 消除 装置 承载 设备 物料 搬运 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种静电消除装置,用于消除玻璃基板上的静电,其特征在于,该静电消除装置(20)包括:

呈框体结构的导轨(22),该导轨(22)设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件(10)的一条侧边的外表面上;

静电消除器(26),该静电消除器(26)能够滑动地装设在该导轨(22)内;及

驱动装置(28),该驱动装置(28)固定在该导轨(22)上并用于驱动该静电消除器(26)沿着该导轨(22)来回移动。

2.如权利要求1所述的静电消除装置,其特征在于,该静电消除装置(20)还包括滑块(24),该滑块(24)能够滑动地装设在该导轨(22)内,该静电消除器(26)固定在该滑块(24)上,该驱动装置(28)驱动该滑块(24)沿着该导轨(22)来回移动以带动该静电消除器(26)沿着该导轨(22)来回移动。

3.如权利要求2所述的静电消除装置,其特征在于,该导轨(22)为矩形框体且包括平行相背的两个第一侧壁(222)及平行相背的两个第二侧壁(223),该滑块(24)横跨在该两个第一侧壁(222)上,该驱动装置(28)包括驱动马达(282)及螺杆(284),该驱动马达(282)装设在其中一个第二侧壁(223)的外表面(228)上,该螺杆(284)位于该框体内且其一端与该驱动马达(282)连接,另一端能够转动地装设在另一个第二侧壁(223)上,该螺杆(284)穿过该滑块(24)并与该滑块(24)螺纹配合。

4.如权利要求3所述的静电消除装置,其特征在于,该滑块(24)呈“工”字形并包括承载部(242)、与该承载部(242)平行相背的连接部(244)以及垂直连接该承载部(242)及该连接部(244)的穿设部(246),该承载部(242)承载在该两个第一侧壁(222)的上表面(226)上,该连接部(244)与该两个第一侧壁(222)的下表面(227)抵触,该穿设部(246)位于该框体内并开设有与该螺杆(284)配合的螺纹孔(247),该静电消除器(26)包括固定连接在该连接部(244)上的杆体(262)及从该杆体(262)上伸出的多个喷嘴(264)。

5.如权利要求3所述的静电消除装置,其特征在于,该滑块(34)呈T形并包括垂直连接的承载部(342)及连接部(344),该承载部(342)承载在该两个第一侧壁(322)的上表面(326)上,该连接部(344)位于该框体内并开设有与该螺杆(284)配合的螺纹孔(347),该静电消除器(36)包括固定连接在该连接部(344)上的杆体(362)及从该杆体(362)上伸出的多个喷嘴(364)。

6.一种卡匣承载设备,其特征在于,该卡匣承载设备(1)包括一个卡匣承载台组件(10)及如权利要求1-5任意一项所述的静电消除装置(20),该卡匣承载台组件(10)包括多个并排串联起来的卡匣承载台(10a-10d),相邻卡匣承载台(10a-10d)之间共用一个侧壁,该静电消除装置(20)的导轨(22)设置在该卡匣承载台组件(10)的一条侧边(144)的外表面(146)上,该静电消除器(26)与该卡匣承载台组件(10)的底部(12)相对。

7.一种物料搬运系统,其特征在于,该物料搬运系统(2)包括一个机械手臂(46)以及如权利要求6所述的卡匣承载设备(1),该机械手臂(46)设置于该卡匣承载设备(1)的外部,该机械手臂(46)用于夹持住玻璃基板并将该玻璃基板运送到对应的卡匣承载台(10a-10d)内或者从对应的卡匣承载台(10a-10d)内取出该玻璃基板。

8.如权利要求7所述的物料搬运系统,其特征在于,该物料搬运系统(2)还包括滑轨(42)以及驱动器(48),该机械手臂(46)能够滑动地装设在该滑轨(42)内,该驱动器(48)固定在该滑轨(42)上并用于驱动该机械手臂(46)沿着该滑轨(42)来回移动。

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