[发明专利]静电消除装置、卡匣承载设备、物料搬运系统及搬运方法

说明书

技术领域

本发明涉及静电消除技术，尤其涉及一种静电消除装置及装配有该静电消除装置的卡匣承载设备。本发明还涉及一种使用该卡匣承载设备的物料搬运系统及搬运方法。

背景技术

目前，薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)及有机发光二极管(OLED)显示面板越来越多地作为显示屏而应用在电子产品中。在制造液晶显示面板及OLED显示面板的过程中，需要使用物料搬运系统中的搬运设备将玻璃基板(substrate)搬运至放置在卡匣承载台(cassette stage)上的卡匣(cassette)中或者搬离该卡匣。玻璃基板在搬运之前的各个工艺之间传送时会因接触或摩擦而使其表面带有静电，这些存在于玻璃基板表面的静电会吸引周边的微粒使其吸附在玻璃基板的表面而造成玻璃基板被污染甚至产生静电释放(ESD)障碍。此外，静电会导致电荷累积，当电荷累积到一定程度之后，会产生巨大的瞬间放电，从而损坏玻璃基板上的电路。

为了解决静电危害的问题，目前面板业通常采用两种方法消除静电，第一种是将设备接地，并且调整环境的相对湿度，以使物体表面的静电导出。第二种是采用静电消除器喷洒正负离子至玻璃基板表面以消除玻璃基板表面上的静电。第一种方法消除静电效果有限，第二种方法消除静电的效果较佳。然而，物料搬运系统通常包含有多个用于放置卡匣的卡匣承载台，采用上述第二种方法消除静电需要在每个卡匣承载台上都装配一台静电消除器，从而导致安装成本以及后期维护成本均较高。

因此，有必要提供能够解决上述问题的静电消除装置、装配有该静电消除装置的卡匣承载设备以及使用该卡匣承载设备的物料搬运系统及搬运方法。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种静电消除装置，用于消除玻璃基板上的静电。该静电消除装置包括呈框体结构的导轨、静电消除器及驱动装置。该导轨设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件的一条侧边的外表面上。该静电消除器能够滑动地装设在该导轨内。该驱动装置固定在该导轨上并用于驱动该静电消除器沿着该导轨来回移动。

其中，该静电消除装置还包括滑块，该滑块能够滑动地装设在该导轨内，该静电消除器固定在该滑块上，该驱动装置驱动该滑块沿着该导轨来回移动以带动该静电消除器沿着该导轨来回移动。

其中，该导轨为矩形框体且包括平行相背的两个第一侧壁及平行相背的两个第二侧壁，该滑块横跨在该两个第一侧壁上，该驱动装置包括驱动马达及螺杆，该驱动马达装设在其中一个第二侧壁的外表面上，该螺杆位于该框体内且其一端与该驱动马达连接，另一端能够转动地装设在另一个第二侧壁上，该螺杆穿过该滑块并与该滑块螺纹配合。

其中，该滑块呈“工”字形并包括承载部、与该承载部平行相背的连接部以及垂直连接该承载部及该连接部的穿设部，该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上，该连接部与该两个第一侧壁的下表面抵触，该穿设部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔，该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。

其中，该滑块呈T形并包括垂直连接的承载部及连接部，该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上，该连接部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔，该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。

为了解决上述技术问题，本发明实施例还提供了一种卡匣承载设备，其包括一个卡匣承载台组件及如上所述的静电消除装置。该卡匣承载台组件包括多个并排串联起来的卡匣承载台，相邻卡匣承载台之间共用一个侧壁。该静电消除装置的导轨设置在该卡匣承载台组件的一条侧边的外表面上。该静电消除器与该卡匣承载台组件的底部相对。

为了解决上述技术问题，本发明实施例还提供了一种物料搬运系统，其包括一个机械手臂以及如上所述的卡匣承载设备。该机械手臂设置于该卡匣承载设备的外部。该机械手臂用于夹持住玻璃基板并将该玻璃基板运送到对应的卡匣承载台内或者从对应的卡匣承载台内取出该玻璃基板。

其中，该物料搬运系统还包括滑轨以及驱动器，该机械手臂能够滑动地装设在该滑轨内，该驱动器固定在该滑轨上并用于驱动该机械手臂沿着该滑轨来回移动。