[发明专利]固体摄像装置

摘要

本发明提供能够减少对图像信号产生的噪声故障的固体摄像装置。该固体摄像装置具备：晶体管（62），形成在半导体基板（61）上；第一层间绝缘膜（63），形成在半导体基板上；第一多层布线层（64），形成在第一层间绝缘膜内，由多个布线层及对该多个布线层间进行连接的布线通孔构成；第一屏蔽层（13），形成在第一层间绝缘膜内且相邻的所述布线层之间；第二屏蔽层，形成在第一层间绝缘膜内且相邻的所述布线通孔之间；第二层间绝缘膜（54），形成在第一层间绝缘膜上；第二多层布线层（55），形成在第二层间绝缘膜内；半导体层（51），形成在第二层间绝缘膜上；摄像元件（52），形成在半导体层内且第二层间绝缘膜的界面；和滤色片（57），形成在半导体层上。

主权项

一种固体摄像装置，其特征在于，具备：半导体基板；晶体管，形成在所述半导体基板上；第一层间绝缘膜，形成在所述半导体基板上；第一多层布线层，形成在所述第一层间绝缘膜内，由多个布线层及对所述多个布线层间进行连接的布线通孔构成；第一屏蔽层，形成在所述第一层间绝缘膜内且相邻的所述布线层之间；第二屏蔽层，形成在所述第一层间绝缘膜内且相邻的所述布线通孔之间；第二层间绝缘膜，形成在所述第一层间绝缘膜上；第二多层布线层，形成在所述第二层间绝缘膜内；半导体层，形成在所述第二层间绝缘膜上；摄像元件，形成在所述半导体层内且所述第二层间绝缘膜的界面；以及滤色片，形成在所述半导体层上。