[发明专利]配气系统

摘要

本发明揭示了一种气相沉积设备的配气系统，包括第一气体单元、第一气体输送管道和供气管，所述供气管的输出端连接所述反应腔，所述第一气体输送管道的输出端连接所述供气管，所述第一气体输送管道的输入端连接所述第一气体单元，所述第一气体单元向所述第一气体传输管道输出包括第一反应源和第一载气的第一气体；所述第一气体传输管道上设置有一第一反应源浓度检测仪，所述第一反应源浓度检测仪用于检测所述第一气体传输管道内所述第一气体中的第一反应源的浓度，所述第一反应源浓度检测仪的检测点与所述第一气体传输管道的输出端的距离小于等于500mm。本发明提供的配气系统能够较为准确地反映进入到反应腔中的第一反应源的量。

主权项

一种气相沉积设备的配气系统，所述配气系统用于向所述气相沉积设备的反应腔输出反应气体，所述配气系统包括第一气体单元、第一气体输送管道和供气管，所述供气管的输出端连接所述反应腔，所述第一气体输送管道的输出端连接所述供气管，所述第一气体输送管道的输入端连接所述第一气体单元，所述第一气体单元向所述第一气体传输管道输出包括第一反应源和第一载气的第一气体，所述第一气体通过所述第一气体传输管道通入到所述供气管中；所述供气管中流通有流向所述反应腔的第二载气，所述第一气体通入到所述供气管后，与所述第二载气混合后流入到所述反应腔中，其中，所述第二载气的流量大于等于所述第一气体流量的5倍，所述第一气体传输管道能够吸附所述第一反应源；其特征在于：所述第一气体传输管道上设置有一第一反应源浓度检测仪，所述第一反应源浓度检测仪用于检测所述第一气体传输管道内所述第一气体中的第一反应源的浓度，所述第一反应源浓度检测仪的检测点与所述第一气体传输管道的输出端的距离小于等于500mm。