[发明专利]一种工艺气体互锁的控制方法和系统有效
| 申请号： | 201310279777.1 | 申请日： | 2013-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN104281141B | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 马平 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/43 | 分类号： | G05B19/43 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种工艺气体互锁的控制方法，所述方法，包括以下步骤步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对应的配置参数；步骤2，遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3；否则，执行步骤4；步骤3，打开所述目标路气体通道；步骤4，生成警报信息。本发明实施例增加了气体通道的配置参数，实现了在线编辑的功能。在线编辑配置参数和在线应用，提高了应用的灵活性，提高了效率，减少了时间的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 气体 互锁 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述方法，包括以下步骤：步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对应的配置参数；步骤2，遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3；否则，执行步骤4；步骤3，打开所述目标路气体通道；步骤4，生成警报信息。
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