[发明专利]一种工艺气体互锁的控制方法和系统

权利要求书

1.一种工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述方法，包括以下步骤：

步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对应的配置参数；

步骤2，遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3；否则，执行步骤4；

步骤3，打开所述目标路气体通道；

步骤4，生成警报信息。

2.根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述配置参数包括允许参数permit或禁止参数forbid。

3.根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述预设条件包括：

允许所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开；和/或，

禁止所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开，并且，其它各路气体通道都未打开；和/或，

允许所述目标路气体通道与其它部分气体通道打开，禁止所述目标路气体通道与剩余气体通道打开，并且所述剩余气体通道均未打开。

4.根据权利要求2所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述步骤2，包括下列步骤：

步骤21，查询与所述目标路气体通道的配置参数为禁止参数forbid的所有气体通道，并标记为待定气体通道；

步骤22，依次判断所有所述待定气体通道是否均为关闭状态，若是，则执行步骤3；否则，执行步骤4。

5.根据权利要求4所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述气体通道具有预置序列，当前共有M路气体通道，所述目标路气体通道为第N路，其中，M、N为正整数；所述步骤21，包括下列步骤：

步骤211，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1；

步骤212，判断I是否小于或等于M；若是，则执行步骤213；否则，执行步骤22；

步骤213，判断I是否等于N；若是，则执行I＝I+1，返回步骤212；否则，执行步骤214；

步骤214，查询第I路气体通道与第N路气体通道的配置参数是否是允许参数permit；若是，则执行I＝I+1，返回步骤212；否则，标记第I路气体通道为待定气体通道，执行I＝I+1，返回步骤212。

6.根据权利要求2或3所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述气体通道具有预置序列，当前共有M路气体通道，所述目标路气体通道为第N路，其中，M、N为正整数；所述步骤2，包括下列步骤：

步骤S1，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1；

步骤S2，判断I是否小于或等于M；若是，则执行步骤S3；若否，则执行步骤3；

步骤S3，判断I是否等于N；若是，则执行步骤S6；若否，则执行步骤S4；

步骤S4，查询第I路气体通道与第N路气体通道的配置参数是否是允许参数permit；若是，则执行步骤S6；若否，则执行步骤S5；

步骤S5，查询第I路气体通道是否已经打开；若是，则执行步骤4；若否，则执行步骤S6；

步骤S6，将I的值加1，返回执行步骤S2。

7.根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述气体通道为刻蚀设备的气体通道。

8.根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述方法，还包括：

在所述配置页中设置每路气体通道的参数值，所述参数值包括：通气种类、通气量、温度、压强和/或密度。

9.一种工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述系统，包括以下模块：

配置参数设置模块，用于设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对应的配置参数；

判断模块，用于遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数；并依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数，判断是否满足预设条件；若是，则调用打开模块，若否，则调用警报模块；

打开模块，用于打开所述目标路气体通道；

警报模块，用于生成警报信息。