[发明专利]一种检测装置及检测方法无效
| 申请号： | 201310243054.6 | 申请日： | 2013-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN103353459A | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 林智生 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测装置及检测方法，所述检测装置包括本体、台架、摄像单元、光发射单元及光接收单元，所述摄像单元可移动地设置在所述台架上，且所述摄像单元位于待检测基板上方，所述光发射单元和所述光接收单元分别位于待检测基板的相对两侧，且所述光发射单元用于沿所述待检测基板的表面上方照射光，所述光接收单元用于接收所述光发射单元照射的光。根据本发明的检测装置，可根据照射的光是否被遮蔽以及遮蔽的程度，判断出异物的存在，可靠地防止喷嘴等损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括本体、台架、摄像单元、光发射单元及光接收单元，所述摄像单元可移动地设置在所述台架上，且所述摄像单元位于待检测基板的上方，所述光发射单元和所述光接收单元分别位于待检测基板的相对两侧，且所述光发射单元用于沿所述待检测基板的表面上方照射光，所述光接收单元用于接收所述光发射单元照射的光。
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