[发明专利]一种检测装置及检测方法

说明书

技术领域

本发明属于液晶平板显示的制造技术的领域，尤其涉及一种检测装置及检测方法，其可用于检测基板上的异物。

背景技术

液晶电视、液晶电脑等平板显示器越来越受到大众的欢迎。在平板显示器的制造产业中，异物(例如尘埃等微粒)是影响生产之重要问题。例如，在薄膜晶体管的制程(TFT process)中，利用彩墨涂布机进行光阻涂敷。其中，彩墨涂布机主要是依靠狭缝喷嘴将光阻均匀涂布在基板上的装置，涂布时喷嘴距离基板近(例如约120um)。因此，若基板表面上粘附的颗粒碰到喷嘴，则容易导致喷嘴受到损伤，甚至报废。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检测装置，其能够检测出基板上颗粒等异物，可靠地防止喷嘴损伤。

本发明通过如下技术方案实现：一种检测装置，其中，所述检测装置包括本体、台架、摄像单元、光发射单元及光接收单元，所述摄像单元可移动地设置在所述台架上，且所述摄像单元位于待检测基板上方，所述光发射单元和所述光接收单元分别位于待检测基板的相对两侧，且所述光发射单元用于沿所述待检测基板的表面上方照射光，所述光接收单元用于接收所述光发射单元照射的光。

作为上述技术方案的进一步改进，所述光发射单元为激光发射单元，所述光接收单元为CCD图像传感器。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括设置在所述摄像单元旁边的照明单元。

作为上述技术方案的进一步改进，所述摄像单元为CCD摄像机。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括驱动部及控制器，所述驱动部用于驱动所述摄像单元、所述光发射单元及所述光接收单元运动，所述控制器用于控制所述摄像单元、所述驱动部、所述光发射单元及所述光接收单元。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括警报器，所述警报器与所述控制器连接以在所述光接收单元检测出异常时通过所述控制器控制所述警报器发出警报。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括长度方向导轨、宽度方向导轨及高度方向导轨，所述宽度方向导轨设置在所述检测装置的本体上，所述长度方向导轨及所述高度方向导轨设置在所述台架上，所述台架沿所述宽度方向导轨上滑动，所述摄像单元沿所述长度方向导轨及所述高度方向导轨上滑动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括显示单元，所述显示单元用于显示所述摄像单元拍摄的图像。

作为上述技术方案的进一步改进，所述显示单元为计算机。

本发明还提供了一种检测方法，其中，所述检测方法包括以下步骤：

照射步骤，光发射单元发出光信号；

检测步骤，光接收单元接收光发射单元发出的光信号，并判断接收到的光信号是否异常；

摄像步骤，如果接收到的光信号异常，则开启照明单元，驱动摄像单元以便对待测试基板进行摄像，并将摄取的图像通过显示单元显示出来。

本发明的有益效果是：根据本发明的检测装置，其包括本体、台架、摄像单元、光发射单元及光接收单元，所述摄像单元可移动地设置在所述台架上，且所述摄像单元位于待检测基板上方，所述光发射单元和所述光接收单元分别位于待检测基板的相对两侧，且所述光发射单元用于沿所述待检测基板的表面上方照射光，所述光接收单元用于接收所述光发射单元照射的光，当待检测基板上有颗粒等异物时，则会引起光的强度的变化，由此，根据照射的光是否被遮蔽以及遮蔽的程度，判断出异物的存在，可靠地防止喷嘴等损伤。

附图说明

图1是根据本发明的一个具体实施例的检测装置的正面示意图。

图2是图1的检测装置的侧面示意图。

图3是图1的检测装置的示意性电气控制框图。

图4是根据本发明的一个具体实施例的检测方法的流程示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行进一步的说明。

本发明的检测装置和检测方法可用于在薄膜晶体管的制程(TFT process)中检测待检测基板100上的异物，防止喷嘴等被基板100上的异物(例如微粒、粉尘、颗粒等)损伤。