[发明专利]一种检测装置及检测方法无效

专利信息
申请号: 201310243054.6 申请日: 2013-06-18
公开(公告)号: CN103353459A 公开(公告)日: 2013-10-16
发明(设计)人: 林智生 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G01N21/94 分类号: G01N21/94
代理公司: 广东广和律师事务所 44298 代理人: 刘敏
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 检测 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种检测装置,其特征在于,所述检测装置包括本体、台架、摄像单元、光发射单元及光接收单元,所述摄像单元可移动地设置在所述台架上,且所述摄像单元位于待检测基板的上方,所述光发射单元和所述光接收单元分别位于待检测基板的相对两侧,且所述光发射单元用于沿所述待检测基板的表面上方照射光,所述光接收单元用于接收所述光发射单元照射的光。

2.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述光发射单元为激光发射单元,所述光接收单元为CCD图像传感器。

3.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括设置在所述摄像单元旁边的照明单元。

4.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述摄像单元为CCD摄像机。

5.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括驱动部及控制器,所述驱动部用于驱动所述摄像单元、所述光发射单元及所述光接收单元运动,所述控制器用于控制所述摄像单元、所述驱动部、所述光发射单元及所述光接收单元。

6.根据权利要求5所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括警报器,所述警报器与所述控制器连接以在所述光接收单元检测出异常时通过所述控制器控制所述警报器发出警报。

7.根据权利要求5所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括长度方向导轨、宽度方向导轨及高度方向导轨,所述宽度方向导轨设置在所述检测装置的本体上,所述长度方向导轨及所述高度方向导轨设置在所述台架上,所述台架沿所述宽度方向导轨上滑动,所述摄像单元沿所述长度方向导轨及所述高度方向导轨上滑动。

8.根据权利要求5所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置还包括显示单元,所述显示单元用于显示所述摄像单元拍摄的图像。

9.根据权利要求8所述的检测装置,其特征在于,所述显示单元为计算机。

10.一种检测方法,其特征在于,所述检测方法包括以下步骤:

照射步骤,光发射单元发出光信号;

检测步骤,光接收单元接收光发射单元发出的光信号,并判断接收到的光信号是否异常;

摄像步骤,如果接收到的光信号异常,则开启照明单元,驱动摄像单元以便对待测试基板进行摄像,并将摄取的图像通过显示单元显示出来。

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