[发明专利]基板的加工装置

摘要

本发明有关于一种基板的加工装置，是用以加工基板表面的装置，且具备载置基板的载台、头部、马达、感测器、及控制部。头部具有可相对于载台沿水平方向相对移动的基座、及在前端安装有加工用工具且被基座升降自如地支承的保持具。马达使保持具相对于基座升降。感测器检测基板表面的高度位置。控制部根据感测器的检测结果而控制马达驱动机构，从而控制保持具的高度位置。本发明的基板的加工装置可准确地追随基板表面的挠曲，并抑制加工不良。

主权项

一种基板的加工装置，其是用以加工基板表面的加工装置，其特征在于其具备：载台，载置基板；头部，具有可相对于该载台而沿水平方向相对移动的基座、及在前端安装有加工用工具且被该基座升降自如地支承的保持具；驱动机构，使该保持具相对于该基座升降；感测器，检测该基板表面的高度位置；及控制部，根据该感测器的检测结果而控制该驱动机构，从而控制该保持具的高度位置。