[发明专利]基板的加工装置

权利要求书

1.一种基板的加工装置，其是用以加工基板表面的加工装置，其特征在于其具备：

载台，载置基板；

头部，具有可相对于该载台而沿水平方向相对移动的基座、及在前端安装有加工用工具且被该基座升降自如地支承的保持具；

驱动机构，使该保持具相对于该基座升降；

感测器，检测该基板表面的高度位置；及

控制部，根据该感测器的检测结果而控制该驱动机构，从而控制该保持具的高度位置。

2.如权利要求1所述的基板的加工装置，其特征在于其中，该保持具具有：

保持具本体；

工具安装部，相对于该保持具本体而升降自如地被支承，且在下端部安装该工具；及

按压装置，用以将该工具安装部对该载台上的基板按压。

3.如权利要求2所述的基板的加工装置，其特征在于其中，该按压装置是活塞杆的前端连结于该工具安装部的气缸。

4.如权利要求1至3中任一项所述的基板的加工装置，其特征在于其中，该感测器对该基板表面照射激光而测定该基板表面的高度位置。

5.如权利要求1至3中任一项所述的基板的加工装置，其特征在于其中，该感测器安装于该基座；

该控制部接收来自该感测器的检测结果，并根据该感测器与该基板表面之间的距离变化量而控制该驱动机构。

6.如权利要求4所述的基板的加工装置，其特征在于其中，该感测器安装于该基座；

该控制部接收来自该感测器的检测结果，并根据该感测器与该基板表面之间的距离变化量而控制该驱动机构。

7.如权利要求2或3所述的基板的加工装置，其特征在于其中，该感测器安装于该保持具本体；

该控制部接收来自该感测器的检测结果，并以使该感测器与该基板表面之间的距离始终固定的方式控制该驱动机构。

8.如权利要求4所述的基板的加工装置，其特征在于其中，该感测器安装于该保持具本体；

该控制部接收来自该感测器的检测结果，并以使该感测器与该基板表面之间的距离始终固定的方式控制该驱动机构。