[发明专利]与阳极夹一起使用的导电带以及阳极夹无效
| 申请号： | 201310235182.6 | 申请日： | 2008-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN103290460A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 矢作光敏;阿部贤一;荒木裕二;南吉夫;长弓知泰 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/10 | 分类号： | C25D17/10;C25D3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种与阳极夹一起使用的导电带，用于向阳极供应电流，所述阳极用于电镀比如半导体片的基片表面。所述阳极和基片在电镀装置的电镀槽内被垂直布置以彼此面对。所述导电带包括能够接触阳极的外周边缘并夹持该阳极的带。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 一起 使用 导电 以及 | ||
【主权项】：
一种阳极夹，其特征在于，包括：阳极夹基座，用于容纳阳极；和安装在所述阳极夹基座的前表面侧的阳极罩，用于覆盖所述阳极的一部分。
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