[发明专利]与阳极夹一起使用的导电带以及阳极夹无效
| 申请号： | 201310235182.6 | 申请日： | 2008-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN103290460A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 矢作光敏;阿部贤一;荒木裕二;南吉夫;长弓知泰 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/10 | 分类号： | C25D17/10;C25D3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阳极 一起 使用 导电 以及 | ||
【权利要求书】：
1.一种阳极夹，其特征在于，包括：
阳极夹基座，用于容纳阳极；和
安装在所述阳极夹基座的前表面侧的阳极罩，用于覆盖所述阳极的一部分。
2.如权利要求1所述的阳极夹，其特征在于，所述阳极夹基座容纳板状的阳极。
3.如权利要求1所述的阳极夹，其特征在于，所述阳极夹基座具有圆形的阳极容纳孔。
4.如权利要求1所述的阳极夹，其特征在于，还包括：
安装在所述阳极夹基座的后表面侧的后盖，用于覆盖所述阳极的后表面。
5.如权利要求1所述的阳极夹，其特征在于，还包括：与阳极接触、并具有用于供应电流的触点的部分。
6.如权利要求1所述的阳极夹，其特征在于，所述阳极罩具有圆形开口，所述圆形开口的内径小于所述阳极的外径。
7.如权利要求1所述的阳极夹，其特征在于，所述阳极夹基座的上部包括用于运输的抓手。
8.如权利要求1所述的阳极夹，其特征在于，所述阳极夹基座的下部包括排出溶液孔，用于将电镀溶液排出。
9.一种电镀装置，其特征在于，包括：
电镀槽，用于保持电镀溶液；
基片夹，用于夹持基片、并将基片的被电镀表面布置在电镀溶液中；
如权利要求1-8中任一项所述的阳极夹，被布置为与基片的被电镀表面彼此面对；和
电镀电源，向基片的被电镀表面与所述阳极夹之间供应电流。
10.如权利要求9所述的阳极夹，其特征在于，所述电镀电源在未浸没在电镀溶液中的位置上与所述阳极夹的触点连接。
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