[发明专利]光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201310198534.5 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103454857B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 杉原昌子;河村麻贵 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李新红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：树脂，所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加；酸生成剂；由式(I)表示的化合物；和溶剂，所述溶剂的量为所述光致抗蚀剂组合物的总量的40至75质量％：其中所述环W | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：/n树脂，所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加，/n其中所述树脂包含选自由以下组成的组中的至少一个：由式(a1-1)表示的结构单元和由式(a1-2)表示的结构单元，和选自由以下组成的组中的至少一个：由式(a2-1)表示的结构单元、由式(a2-2)表示的结构单元和由式(a2-3)表示的结构单元：/n
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