[发明专利]光致抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：

树脂，所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加，

其中所述树脂包含选自由以下组成的组中的至少一个：由式(a1-1)表示的结构单元和由式(a1-2)表示的结构单元，和选自由以下组成的组中的至少一个：由式(a2-1)表示的结构单元、由式(a2-2)表示的结构单元和由式(a2-3)表示的结构单元：

其中R^a1、R^a2和R^a3各自独立地表示C1-C8烷基或C3-C20脂环烃基，或者R^a1、R^a2和R^a3中的两个彼此连接而形成C2-C20二价烃基并且另一个是C1-C8烷基或C3-C20脂环烃基，并且

R^a4表示氢原子或甲基，

其中R^a1’和R^a2’各自独立地表示氢原子或其中的亚甲基任选已经被氧原子或硫原子代替的C1-C12烃基，R^a3’表示其中的亚甲基任选已经被氧原子或硫原子代替的C1-C20烃基，或

R^a1’和R^a2’中的一个表示氢原子或其中的亚甲基任选已经被氧原子或硫原子代替的C1-C12烃基，并且另一个连接至R^a3’以形成其中的亚甲基任选已经被氧原子或硫原子代替的C2-C20二价烃基，

R^a5表示氢原子或甲基，

R^a6表示C1-C6烷基或C1-C6烷氧基，

并且m表示0至4的整数，

其中R^a7、R^a8和R^a9独立地表示氢原子或甲基，

R^a10表示C1-C6烷基或C1-C6烷氧基，

m'表示0至4的整数，

R^a11表示C1-C10一价或二价烃基，

R^a12表示C1-C6烷基，

L^a1表示C1-C6一价或二价烷二基，并且

n'表示1至30的整数；

酚醛清漆树脂；

式(b1)表示的化合物：

其中R^b1表示任选地具有氟原子并且其中的亚甲基任选已经被氧原子或羰基代替的C1-C18烃基，并且

环W^b1表示任选地具有取代基的C6-C14芳香族烃环或任选地具有取代基的C6-C14杂环；

由式(I)表示的化合物：

其中所述环W¹是含氮杂环，

A¹表示苯基或萘基，并且

n表示2或3的整数；和

溶剂，所述溶剂的量为所述光致抗蚀剂组合物的总量的40至75质量％。

2.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂组合物，其中所述环W^b1表示萘环。