[发明专利]具有对流压缩机的热扩散室

摘要

本发明涉及具有对流压缩机的热扩散室，优选地，公开了支撑容纳室的框架（处理室限制在容纳室内）、以及与密封处理室的外部流体连通的至少一个流体入口结构，该流体入口结构包括至少一个流量调节结构以控制来自流体源且在处理室的外部周围的流体流量，以及与处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，该流体对流系统包括延伸到处理室中的旋转压缩机组件。

主权项

一种装置，包括：框架，所述框架支撑容纳室；处理室，所述处理室被限制在所述容纳室内；热源模块，所述热源模块设置在所述容纳室和所述处理室之间；热调节腔，所述热调节腔形成于所述热源模块和所述处理室之间；与所述热调节腔流体连通的至少一个流体入口结构，其中，所述流体入口结构提供阀，所述阀控制从所述热调节腔经过所述流体入口结构流动至所述热调节腔外部的环境的流体流量，并且其中，所述流体入口结构还包括流量调节结构，所述流量调节结构与所述阀相互作用以控制从在所述热调节腔外部的环境经过所述阀流入所述热调节腔的流体流量；以及与所述处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，所述流体对流系统包括延伸到所述处理室中的旋转压缩机组件。