[发明专利]具有对流压缩机的热扩散室

权利要求书

1.一种装置，包括：

框架，所述框架支撑容纳室；

处理室，所述处理室被限制在所述容纳室内；

热源模块，所述热源模块设置在所述容纳室和所述处理室之间；

热调节腔，所述热调节腔形成于所述热源模块和所述处理室之间；

与所述热调节腔流体连通的至少一个流体入口结构，其中，所述流体入口结构提供阀，所述阀控制从所述热调节腔经过所述流体入口结构流动至所述热调节腔外部的环境的流体流量，并且其中，所述流体入口结构还包括流量调节结构，所述流量调节结构与所述阀相互作用以控制从在所述热调节腔外部的环境经过所述阀流入所述热调节腔的流体流量；以及

与所述处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，所述流体对流系统包括延伸到所述处理室中的旋转压缩机组件。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述处理室是密封处理室，并且还包括：

热源模块，所述热源模块设置在所述容纳室和所述处理室之间；以及

热传感器组件，所述热传感器组件设置在所述密封处理室的内部中且与所述密封热室的壁相邻，所述热传感器组件测量所述密封处理室的内部温度值，并且其中，所述开环流体对流系统还包括与所述旋转压缩机组件相邻的护罩。

3.如权利要求2所述的装置，还包括与所述流量调节结构和所述热传感器组件相连的控制器，所述控制器响应于所述密封处理室的测得的内部温度值而设定所述流量调节结构的流动位置以调节从所述流体源经过所述流体入口结构且在所述密封处理室的外部周围的流体流量，并且其中，与所述旋转压缩机组件相邻的所述护罩与基片支撑框架相连。

4.如权利要求3所述的装置，还包括对流管道，所述对流管道由一对基片和一对流量限制盖形成，所述一对基片布置成分别与所述基片支撑框架的侧面相邻，所述一对流量限制盖布置成分别与所述基片支撑框架的顶侧和所述基片支撑框架的底侧相邻，所述对流管道与所述护罩相邻。

5.如权利要求4所述的装置，其中，所述流体对流系统还包括：

马达，所述马达与所述旋转压缩机组件相连；以及

马达控制器，所述马达控制器与所述马达相连并且对所述热传感器组件做出响应。

6.如权利要求5所述的装置，其中，所述马达是电马达。

7.如权利要求5所述的装置，其中，所述马达是旋转液压马达。

8.如权利要求5所述的装置，其中，所述马达是旋转气动马达。

9.如权利要求5所述的装置，其中，所述旋转压缩机组件包括：

中心轴，所述中心轴对所述马达做出响应；

后板，所述后板被固定到所述中心轴以便与所述中心轴一起转动；以及

多个叶片，所述多个叶片径向地设置在所述中心轴的周围且从所述后板延伸。

10.如权利要求9所述的装置，其中，所述旋转压缩机组件还包括与所述多个叶片相连的面板，所述多个叶片设置在所述后板和所述面板之间以便与所述中心轴一起转动。

11.一种装置，包括：

框架，所述框架支撑容纳室；

处理室，所述处理室被限制在所述容纳室内；

与所述处理室的外部流体连通的至少一个流体入口结构，所述流体入口结构至少包括流量调节结构以控制来自流体源且在所述处理室的外部周围的流体流量；

与所述处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，所述流体对流系统包括延伸到所述处理室中的旋转压缩机组件；

与所述流量调节结构相连的控制器；以及

至少与所述流量调节结构和所述控制器相连的控制信号总线，所述控制信号总线响应于所述处理室的内部的测得内部温度值将控制信号发送至所述流量调节结构，其中，所述旋转压缩机组件包括用于在所述处理室内转动的中心轴。

12.如权利要求11所述的装置，其中，所述密封处理室是处理室，并且所述旋转压缩机组件包括：

后板，所述后板固定到所述中心轴以便与所述中心轴一起转动；以及

多个叶片，所述多个叶片径向地设置在所述中心轴的周围并且从所述后板延伸。