[发明专利]具有对流压缩机的热扩散室

说明书

相关申请

本申请是2010年12月30日提交的名称为“具有热交换器的热扩散室”的美国专利申请第12/982,224号的部分继续申请。

技术领域

所请求保护的发明涉及热扩散室设备以及制造用于生产太阳能电池板的热扩散室的方法的领域，并且更具体地涉及获得被限制在热扩散室内的基片的更均匀热剖面的结构和方法。

背景技术

一种形式的太阳能发电依赖于太阳能电池板，该太阳能电池板进而依赖于所选择材料向基片上的扩散。在一个示例中，将玻璃用作基片，其被暴露于气态硒化物以在基片上形成含有铜、铟和硒化物的膜。已知气态硒化物对人是有毒的，这强调须采用谨慎的处理方法，包括热调节系统。

这样，能够以高效且可靠方式阻止处理室内的气态硒化物移动并泄漏到大气中的热调节系统可以大大改进用于提供含有铜、铟和硒化物的膜（扩散到其内）的基片的热室的操作和生产量。

因此，对于热扩散室的处理室的热调节的改进机构和方法存在着持续需求。

发明内容

根据本发明的各种示例性实施例，优选地提供了支撑容纳室的框架（处理室限制在容纳室内）、以及与密封处理室的外部流体连通的至少一个流体入口结构，该流体入口结构包括至少一个流量调节结构，以控制来自流体源且在处理室的外部周围的流体流量。优选地，该示例性实施例还提供与处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，该流体对流系统包括延伸到处理室中的旋转压缩机组件、与流量调节结构相连的控制器、以及至少与流量调节结构和所述控制器相连的控制信号总线，控制信号总线响应于处理室内部的测得内部温度值将控制信号发送至流量调节结构，其中，旋转压缩机组件包括用于在处理室内旋转的中心轴。

附图说明

图1示出了请求保护的本发明的热室的一个示例性实施例的带局部剖视图的正交投影。

图2提供示例性基片支撑框架的正交投影，该示例性基片支撑框架构造成用于图1的热室的示例性实施例。

图3示出了图1的热室的示例性实施例的剖面右侧立面图。

图4示出了图1的热室的示例性实施例的剖面前立面图，示出了排出歧管和管道。

图5提供图1的热室的示例性实施例的、具有附接的入口管道的流体入口结构的放大详细剖面立面图。

图6示出了图1的热室的示例性实施例的剖面右侧立面图，示出了一个示例性的闭环内部热交换器。

图7示出了图1的热室的示例性实施例的剖面右侧立面图，示出了一个示例性的开环内部热交换器。

图8示出了图1的热室的示例性实施例的剖面右侧立面图，示出了一个示例性的内部热传感器。

图9一般性地示出了图1的热室的示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器和闭环内部热交换器组件的平面图。

图10示出了图1的热室的具有附接的初级热偏转组件的示例性门的正交投影。

图11提供图10的初级热分散组件的正交投影。

图12示出了图1的热室的次级热分散组件的正交投影。

图13示出了用于冷却图1的热室的内部和外部的冷却热交换系统的示意图。

图14示出了图1的热室的替代示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器和闭环内部热交换器组件的平面图。

图15提供图14的替代示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器和闭环内部热交换器组件的端视图。

图16示出了图14的替代示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器和闭环内部热交换器组件的侧面立面图。

图17a示出了位于图1的热室内的图14的替代示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器和闭环内部热交换器组件的端视图。

图17b示出了附接到图17a的热室的底部端口支架的平面图。

图18示出了位于图1的热室内的图14的替代示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器和闭环内部热交换器组件的侧面立面图。

图19一般性地示出了形成图1的热室的一个示例性实施例的方法的流程图。

图20示出了形成图1的热室的一个示例性实施例的方法的流程图。

图21示出了形成图1的热室的一个替代示例性实施例的方法的流程图。

图22示出了形成图1的热室的一个替代示例性实施例的方法的流程图。

图23示出了形成图1的热室的一个替代示例性实施例的方法的流程图。

图24示出了请求保护的本发明的开环热交换系统的一个示例性实施例的正交投影。