[发明专利]一种带有保护气体大气等离子体发生装置

摘要

一种带有保护气体大气等离子体发生装置，它属于等离子体加工光学零件的技术领域。它为了解决目前大气等离子体加工过程中存在的表面沉积问题。它的第一圆环形聚四氟乙烯定位套套接在中空管电极上部的外圆面上，地电极上部套接在第一圆环形聚四氟乙烯定位套的外圆面上，第二圆环形聚四氟乙烯定位套套接在射频线接头外表面上，第二圆环形聚四氟乙烯定位套穿过地电极侧面的孔后露出一段，射频线接头的另一端为射频电源的阳极接线端，带孔圆环形聚四氟乙烯定位套套接在中空管电极下部的外圆面上，中空管电极的下端设置在锥形喷嘴内部。本发明能在激发的大气等离子体周围形成保护层，防止大气等离子体中原子团与空气中杂质结合发生复合。

主权项

一种带有保护气体大气等离子体发生装置，其特征在于它由中空管电极（1）、第一圆环形聚四氟乙烯定位套（2）、射频线接头（3）、第二圆环形聚四氟乙烯定位套（4）、带孔圆环形聚四氟乙烯定位套（5）、地电极（6）、锥形喷嘴（7）组成；所述喷嘴（7）的下端中心部开有喷口（7‑1）；第一圆环形聚四氟乙烯定位套（2）套接在中空管电极（1）上部的外圆面上，地电极（6）上部套接在第一圆环形聚四氟乙烯定位套（2）的外圆面上，第二圆环形聚四氟乙烯定位套（4）套接在射频线接头（3）外表面上，射频线接头（3）的一端与中空管电极（1）的中部导电连接，射频线接头（3）的另一端为射频电源的阳极接线端，第二圆环形聚四氟乙烯定位套（4）的中部定位套（4‑1）与地电极（6）侧面的孔（6‑1）相连，外部定位套（4‑2）穿过地电极（6）侧面的孔（6‑1）后露出一段，使中空管电极（1）、射频线接头（3）与地电极（6）之间电气绝缘；地电极（6）侧面还设置有保护气体进气孔（6‑2），带孔圆环形聚四氟乙烯定位套（5）套接在中空管电极（1）下部的外圆面上，锥形喷嘴（7）套接在带孔圆环形聚四氟乙烯定位套（5）的外圆面上，并使锥形喷嘴（7）的上端与地电极（6）的下端导电和密封连接，中空管电极（1）的下端设置在锥形喷嘴（7）内部，使中空管电极（1）的下端外圆面与锥形喷嘴（7）内圆面之间有一圈均匀的间隙（7‑2），使中空管电极（1）的下端面与锥形喷嘴（7）的喷口（7‑1）之间有一定间隙（7‑3），使地电极（6）的保护气体进气孔（6‑2）通过带孔圆环形聚四氟乙烯定位套（5）与中空管电极（1）的下端外圆面与锥形喷嘴（7）内圆面之间的间隙（7‑2）导气连通，中空管电极（1）上端口为工作气体和反应气体的入口。