[发明专利]一种带有保护气体大气等离子体发生装置

权利要求书

1.一种带有保护气体大气等离子体发生装置，其特征在于它由中空管电极（1）、第一圆环形聚四氟乙烯定位套（2）、射频线接头（3）、第二圆环形聚四氟乙烯定位套（4）、带孔圆环形聚四氟乙烯定位套（5）、地电极（6）、锥形喷嘴（7）组成；

所述喷嘴（7）的下端中心部开有喷口（7-1）；第一圆环形聚四氟乙烯定位套（2）套接在中空管电极（1）上部的外圆面上，地电极（6）上部套接在第一圆环形聚四氟乙烯定位套（2）的外圆面上，第二圆环形聚四氟乙烯定位套（4）套接在射频线接头（3）外表面上，射频线接头（3）的一端与中空管电极（1）的中部导电连接，射频线接头（3）的另一端为射频电源的阳极接线端，第二圆环形聚四氟乙烯定位套（4）的中部定位套（4-1）与地电极（6）侧面的孔（6-1）相连，外部定位套（4-2）穿过地电极（6）侧面的孔（6-1）后露出一段，使中空管电极（1）、射频线接头（3）与地电极（6）之间电气绝缘；地电极（6）侧面还设置有保护气体进气孔（6-2），带孔圆环形聚四氟乙烯定位套（5）套接在中空管电极（1）下部的外圆面上，锥形喷嘴（7）套接在带孔圆环形聚四氟乙烯定位套（5）的外圆面上，并使锥形喷嘴（7）的上端与地电极（6）的下端导电和密封连接，中空管电极（1）的下端设置在锥形喷嘴（7）内部，使中空管电极（1）的下端外圆面与锥形喷嘴（7）内圆面之间有一圈均匀的间隙（7-2），使中空管电极（1）的下端面与锥形喷嘴（7）的喷口（7-1）之间有一定间隙（7-3），使地电极（6）的保护气体进气孔（6-2）通过带孔圆环形聚四氟乙烯定位套（5）与中空管电极（1）的下端外圆面与锥形喷嘴（7）内圆面之间的间隙（7-2）导气连通，中空管电极（1）上端口为工作气体和反应气体的入口。

2.根据权利要求1所述的一种带有保护气体大气等离子体发生装置，其特征在于所述中空管电极（1）的内径为1mm-5mm，外径为3mm-10mm。

3.根据权利要求1所述的一种带有保护气体大气等离子体发生装置，其特征在于所述中空管电极（1）的材料为不锈钢或铝。

4.根据权利要求1所述的一种带有保护气体大气等离子体发生装置，其特征在于所述锥形喷嘴（7）的材料为不锈钢、铝或铜。

5. 根据权利要求1所述的一种带有保护气体大气等离子体发生装置，其特征在于所述保护气体为氮气。