[发明专利]晶片封装体及其形成方法有效
| 申请号: | 201310165026.7 | 申请日: | 2013-05-07 |
| 公开(公告)号: | CN103390601A | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
| 发明(设计)人: | 黄玉龙;刘沧宇;张恕铭 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/683;H01L21/78 |
| 代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
| 地址: | 中国台湾桃园县中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本发明提供一种晶片封装体及其形成方法,该晶片封装体包括:一半导体基底,具有一第一表面及一第二表面;一元件区,形成于该半导体基底之中;一介电层,设置于该半导体基底的该第一表面上;一导电垫结构,位于该介电层之中,且电性连接该元件区,该导电垫结构包括多个导电垫层的堆叠结构;一支撑层,设置于该导电垫结构的一顶表面之上;以及一保护层,设置于该半导体基底的该第二表面上。本发明可避免晶片于封装制程中受损。 | ||
| 搜索关键词: | 晶片 封装 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种晶片封装体,其特征在于,包括:一半导体基底,具有一第一表面及一第二表面;一元件区,形成于该半导体基底之中;一介电层,设置于该半导体基底的该第一表面上;一导电垫结构,位于该介电层之中,且电性连接该元件区,该导电垫结构包括多个导电垫层的堆叠结构;一支撑层,设置于该导电垫结构的一顶表面之上;以及一保护层,设置于该半导体基底的该第二表面上。
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