[发明专利]一种欠驱动MEMS角速度陀螺的设计方法无效
| 申请号： | 201310128876.X | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103177164A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 何广平;狄杰建;袁俊杰;赵全亮;徐喆 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学;何广平 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100144 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于欠驱动技术的MEMS角速度陀螺的设计方法，更具体地，提出了一种三自由度梳状静电驱动MEMS角速度陀螺的设计方案。在该方案中，包含了双驱动振子和单敏感振子，其中双驱动振子具有两个谐振峰，通过结构设计将敏感谐振频率置于双驱动谐振频率之间，提高传感器性能对结构参数变化的鲁棒稳定性。该方案给出了欠驱动三自由度谐振子动力学建模的拉格朗日第二方程方法和双驱动谐振子的共振频率计算公式。通过结构设计使三各谐振子的质心重合，大大简化系统动力学模型的复杂性，使解耦框架的结构刚度得到保证的基础上其质量尽量小，能提高驱动输入的频率带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 mems 角速度 陀螺 设计 方法 | ||
【主权项】：
提出一种三自由度梳状静电驱动MEMS角速度陀螺的设计方案，该方案采用双驱动振子，单敏感振子设计方式，其中双驱动振子具有两个谐振峰。
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