[发明专利]一种欠驱动MEMS角速度陀螺的设计方法无效
| 申请号： | 201310128876.X | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103177164A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 何广平;狄杰建;袁俊杰;赵全亮;徐喆 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学;何广平 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100144 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 mems 角速度 陀螺 设计 方法 | ||
【权利要求书】：
1.提出一种三自由度梳状静电驱动MEMS角速度陀螺的设计方案，该方案采用双驱动振子，单敏感振子设计方式，其中双驱动振子具有两个谐振峰。
2.根据权利要求1所述的三自由度梳状静电驱动MEMS角速度陀螺，其特征在于：通过结构设计将敏感谐振频率置于双驱动谐振频率之间，提高传感器性能对结构参数变化的鲁棒稳定性；
根据权利要求1所述的三自由度梳状静电驱动MEMS角速度陀螺，其特征在于：所述步骤（1）中通过结构设计使三个谐振子的质心重合，大大简化系统动力学模型的复杂性；
根据权利要求1所述的三自由度梳状静电驱动MEMS角速度陀螺，其特征在于：所述步骤（2）中通过结构设计，使解耦框架的结构刚度得到保证的基础上其质量尽量小，能提高驱动输入的频率带宽；
根据权利要求1所述的三自由度梳状静电驱动MEMS角速度陀螺，其特征在于：所述步骤（3）中，建立欠驱动三自由度谐振子动力学建模的拉格朗日第二方程方法；
根据权利要求1所述的三自由度梳状静电驱动MEMS角速度陀螺，其特征在于：所述步骤（4）中建立双驱动谐振子的共振频率计算公式。
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