[发明专利]大动态测量范围的波前测量系统及其测量方法

摘要

一种大动态测量范围的波前测量系统及其测量方法，该波前测量系统包括测量单元、控制单元及数据处理单元，其中，该测量单元，包括波前分割取样元件、聚光元件、光电传感器，所述波前分割取样元件、聚光元件和光电传感器整合在一起形成测量单元，该控制单元控制该测量单元在一测量平面内做平移运动，对待测激光光束不同位置的取样光束进行测量，该数据处理单元对测量的数据进行处理，计算出每束取样光束的前进角度，最后通过波前重构算法计算出所测激光光束的波前分布。

主权项

一种大动态范围的波前测量系统，用于激光光束波前的测量，其特征在于，包括：测量单元、数据处理单元及控制单元，该控制单元控制该测量单元移动至不同位置于待测激光光束中撷取一取样光束并将测量数据输出给数据处理单元，数据处理单元根据测量单元测量的该一取样光束的测量数据计算出该取样光束的前进方向，其中，该测量单元包括波前分割取样元件、聚光元件及光电传感器，该波前分割取样元件、聚光元件和光电传感器整合在一起形成测量单元。